Гас високе чистоће азот трифлуорид (НФ3).
Основне информације
| ЦАС | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Шта је ово материјал?
Азот трифлуорид (НФ3) је гас без боје и мириса на собној температури и атмосферском притиску. Може се течни под умереним притиском. НФ3 је стабилан у нормалним условима и не разлаже се лако. Међутим, може се распасти када је изложен високим температурама или у присуству одређених катализатора. НФ3 има висок потенцијал глобалног загревања (ГВП) када се испусти у атмосферу.
Где користити овај материјал?
Средство за чишћење у електронској индустрији: НФ3 се широко користи као средство за чишћење за уклањање заосталих загађивача, као што су оксиди, са површина полупроводника, плазма дисплеја (ПДП) и других електронских компоненти. Може ефикасно очистити ове површине без оштећења.
Гас за јеткање у производњи полупроводника: НФ3 се користи као гас за јеткање у процесу производње полупроводника. Посебно је ефикасан у нагризању силицијум диоксида (СиО2) и силицијум нитрида (Си3Н4), који су уобичајени материјали који се користе у производњи интегрисаних кола.
Производња једињења флуора високе чистоће: НФ3 је вредан извор флуора за производњу различитих једињења која садрже флуор. Користи се као прекурсор у производњи флуорополимера, флуороугљеника и специјалних хемикалија.
Генерисање плазме у производњи екрана са равним екраном: НФ3 се користи заједно са другим гасовима за стварање плазме у производњи дисплеја са равним екраном, као што су дисплеји са течним кристалима (ЛЦД) и ПДП. Плазма је неопходна у процесима таложења и јеткања током израде панела.
Имајте на уму да се специфичне примене и прописи за коришћење овог материјала/производа могу разликовати у зависности од земље, индустрије и намене. Увек пратите безбедносне смернице и консултујте стручњака пре употребе овог материјала/производа у било којој примени.
